Создадим наноструктуры до ~10 нм под ваши требования
Адаптация процессов и разработка оборудования
Настраиваем технологию под вашу лабораторию, помогаем с выбором производственной площадки или создаём специализированную установку НПЛ для исследовательских задач
Перенос в функциональные материалы
Отрабатываем процессы плазменного и химического травления. Используем НПЛ-маску для формирования сложных трёхмерных профилей в подложке с минимальными искажениями критических размеров
Высокоточная репликация наноструктур
Производство наноструктур с разрешением до 10 нм на подложках 8−12 дюймов и на панелях Gen 1 — Gen 5
Проектирование мастер-штампов
Разрабатываем мастер-штампы с учётом геометрии будущих структур, производственных ограничений и особенностей травления. Оптимизируем форму элементов, включая наклонные поверхности, критически важные для фотоники и метаматериалов