Изготовление фотонных микро- и нано- структур в условиях чистой комнаты

Мы специализируемся на нанофабрикации и помогаем исследователям и инженерам производить фотонные микро- и наноструктуры с высокой точностью и по низкой цене

Создадим фотонные структуры под ваши требования

Специализированные решения под задачу

Разрабатываем индивидуальные литографические установки и процессы для исследовательских проектов, включая НИЛ для волноводов и биочипов

Адаптация под ваше оборудование

Настраиваем технологический процесс под вашу лабораторию или производственную площадку и помогаем с выбором подходящей фабрики-партнёра

Полный цикл в чистой комнате ISO 7

Проводим оптическую и наноимпринт литографию, плазменное и химическое травление, металлизацию и нанесение тонких плёнок. Весь процесс выполняется на нашей базе, что снижает себестоимость и ускоряет изготовление

Подбор процесса и проектирование

Определяем оптимальный литографический метод, разрабатываем фотошаблоны или мастер-штампы, подбираем резисты и параметры экспозиции с учётом точности, стоимости и особенностей будущего производства

Возможности и направления работы

Технологические процессы и методы микро- и нанофабрикации

CVD, PVD, ALD, RTA, EBL, DLR, NIL, RIE, ICP, IBE, Wet Etch, Stylus and Optical, Profilometry, AFM, SEM, FIB, TEM, EDX, XRD, TGA-TMA, GS-MS

Электронно-лучевая литография (EBL), оптическая литография (Mask-Aligner, Laser Writer), нано-импринт литография

Характеризация (микро- и нано- скопия)

Методами электронной микроскопии (SEM), атомно-силовой микроскопии (AFM), оптической и контактной профилометрии

Создание функциональных оптических покрытий

Методами магнетронного напыления и плазмо-химического осаждения (CVD, PVD, ALD)

Формирование фотонных структур

Методами плазмо-химического и ионного травления (RIE, ICP, IBE)

Оптические измерения свойств материалов

Методами спектрофотометрии, эллипсометрии, спектроскопии Рамана и Фурье, инфракрасной спектроскопии, дифракции рентгеновских лучей (XRD)

Проектирование технологического процесса для изготовления микро- и нано- структур

Включая внедрение подхода DfM (Design-for-Manufacturing)

Наша команда опубликовала более 70 научных статей, имеет 3000+ цитирований и 5 международных патентов

Команда профессионалов с 20-летним опытом в фотонике и международных проектах

Операционный директор

MSc

Дмитрий Москалев

Технический директор

PhD

Евгений Алексеев

Генеральный директор

PhD

Арсений Алексеев

Получите консультацию по изготовлению фотонных микро- и нано- структур в условиях чистой комнаты

Разберём задачу и оценим возможность изготовления под ваши требования

Арсений Алексеев

Свяжемся с вами в течение 2−3 дней с продуманным решением