Компактная установка наноимпринт литографии Neilos представляет собой высокоточную и многофункциональную систему для копирования (репликации) микро- и наноструктур. Установка поддерживает УФ-закрепление отпечатанного полимера, что обеспечивает совместимость с широким спектром УФ-отверждаемых резистов

Интеллектуальная собственность

Заявка на полезную модель находится в процессе подготовки

Уровень готовности

TRL5, изготовлен экспериментальный образец, налажен технологический процесс копирования наноструктур с критическими размерами 500 нм с размерами штампа до 50 мм

Подходит для исследований и пилотного производства

Neilos одинаково эффективна для отработки новых технологических процессов и стабильных серийных операций в лабораториях и R&D-центрах

Простой и удобный процесс

Интуитивный интерфейс и работа по рецептам упрощают настройку давления, температуры, экспозиции и параметров разделения штампа и подложки

Гибкость под разные задачи

Система поддерживает УФ-отверждение (405 нм) и работает с мастер-штампами до 150 мм, что позволяет адаптировать процесс под любые форматы подложек

Высокоточная репликация наноструктур

Neilos формирует элементы с размерами от 50 нм и сложной 3D-геометрией, обеспечивая стабильное качество и низкую шероховатость поверхности.

Мелкосерийное производство

Серийные операции по репликации наноструктур с высокой повторяемостью и устойчивым качеством

R&D-лаборатории

Создание прототипов оптоэлектронных и фотонных структур, быстрые эксперименты с параметрами литографии и травления

Университетские центры и учебные лаборатории

Универсальный инструмент для изготовления нано-структур и тестирования новых материалов

Голографический дисплей HoloAir

Проецирует изображение в воздухе без очков или экранов, реагирующее на прикосновения. Подходит для медицины, ритейла, образования и интерфейсов самообслуживания

AR-очки Argo

Очки дополненной реальности, которые накладывают изображение поверх реального мира, не отвлекая пользователя от основной задачи. Применяются в промышленности, энергетике, строительстве и транспорте

Поможем оценить возможности Neilos под задачи вашего проекта

Арсений Алексеев

Свяжемся с вами в течение 2−3 дней с продуманным решением