Как работает наноимпринтная литография
Наноимпринтная литография (NIL, nanoimprint lithography) – способ тиражировать микро- и наноструктуры, похожий на печать оттиска. Сначала на подложку в спиннере (центрифуге) наносят тонкий равномерный слой жидкого полимера, резиста. Затем к нему прижимают штамп с нужным рельефом и отверждают резист ультрафиолетом. После снятия штампа на подложке остаётся точная копия рельефа.
Этим методом команда изготавливает наноструктуры для будущей ячейки NGS+, ячейки массового параллельного секвенирования ДНК, которая сейчас находится в разработке. На Neilos уже получены структуры целевой формы размером менее 400 нм. Установка контролирует плоскостность, экспозицию и давление – параметры, от которых зависит, насколько точно повторяется рельеф штампа.
Что изменилось
Главный этап обновления – новая управляющая плата. Её микроконтроллер производительнее прежнего: это позволяет расширить функции Neilos и сделать управление процессом удобнее.
В новой версии предусмотрено беспроводное управление через веб-интерфейс. Параметры импринтинга можно будет задавать с компьютера или другого устройства в локальной сети. Физический интерфейс установки сохранится, и основные функции, включая запуск процесса, останутся доступны прямо на ней.
Что будет дальше
Следующий шаг – расширенный журнал событий. В нём будут сохраняться условия окружающей среды и параметры процесса: температура и влажность воздуха, мощность и приложенное давление. Так результат каждого импринтинга можно будет сопоставить с условиями, в которых он прошёл, а накопленные данные использовать для дальнейшей оптимизации технологии.
Временная лаборатория позволяет одновременно поддерживать текущий технологический процесс и готовить оборудование и программную часть к переезду в новую лабораторию.
